中船重工718所︰特種氣體強化制勝之道

來源︰中國軍網作者︰符馬林 倪增亮責任編輯︰馬嘉隆
2018-05-18 22:38

五月繁華似錦,萬物欣欣向榮。5月18日,中船重工718所新材料一期項目正式投產,二期項目開工建設。筆者從該集團公司了解到,這標志著718所三氟化氮等特種氣體產品產能將取得新的突破。

高純電子特種氣體被形容為半導體工業的“血液”和“糧食”,是大規模集成電路、多晶 、太陽能、光縴等先進制造業的重要原材料,屬于國家加快扶持發展的戰略性新興產業。然而早些年,相關產品被國外壟斷,市場定價權掌握在國外廠商手中。

為破解壟斷危機、搶抓市場機遇,718所于2000年組建特種氣體工程部,自籌經費立項開展研究,于2009年成功開發出高純三氟化氮。該產品被列入國家“重點新產品”及“火炬計劃”,應用于國內大部分的半導體、液晶、太陽能行業,並出口美國、日本、法國、德國等國家。

面對喜人成績,718所沒有停止腳步,而是積極跟蹤國際氟化工前沿技術,先後立項開展20多種高純特種氣體研發,自主開發出六氟化鎢、氘氣、三氟甲磺酸等新產品,涉及核心關鍵技術數十項,獲得發明專利授權18項,產品均處于國際先進水平。

718所所長李俊華介紹,目前該所已建成國內最大的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產品研發生產基地。其中三氟化氮國內市場覆蓋率超過95%,國際市場覆蓋率達30%;六氟化鎢國內市場覆蓋率達100%,國際市場覆蓋率達40%。作為國家“02專項”氣體組項目的牽頭單位,該所已經成功研制出四氟化 等9種高純氣體及10種混合氣體,並成功進行了產業化,產品得到了中芯國際等半導體龍頭企業的測試認證。

近兩年,718所特種氣體產業迅速壯大,年均增速達到30%。該所力爭到2020年,實現年產高純三氟化氮氣體12000噸、高純六氟化鎢氣體2000噸、其他特種氣體3000噸,成為世界知名的電子特種氣體材料綜合服務商。

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